等离子体增强化学气相沉积系统

2021/12/23 10:33:32

名称:等离子体增强化学气相沉积系统

品牌:Samco

型号:PD-220NL

产地:日本

参数:

  •      气体:5%SiH4+95%Ar、N2O、NH3、CF4、O2、N2

  •      射频电源:13.56 MHz,最大功率300 W,晶体振荡,自动匹配;

  •      上电极:最大加热温度200 ℃;

  •      下电极:直径260 mm,最大加热温度400 ℃;

  •      最大晶圆尺寸:8 inch;

  •      沉积材料:SiO2、Si3N4、非晶Si等。

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