原子层沉积系统

2021/12/23 10:34:13

名称:原子层沉积系统

品牌:Picosun

型号:R-200 STANDARD

产地:芬兰

参数:

  •      前驱体源:4路独立源管线,最多可配6个前驱体源,现包括液体源C3H9Al、TiCl4、H2O和气体源NH3

  •      载气/吹扫气体:N2

  •      热壁反应腔置于冷壁真空腔中;

  •      冷壁真空腔:真空度可低至1×10-4 mbar;

  •      热壁反应腔:最高沉积温度达500 ℃,精度±1 ℃;

  •      最大晶圆尺寸:8 inch;

  •      沉积材料:Al2O3、TiN等。

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