电子束蒸发系统

2021/12/23 10:34:57

名称:电子束蒸发系统

品牌:Adnanotek

型号:EBS150

产地:中国台湾

参数:

  •      本底真空度:≤3.75×10-9 Torr;

  •      样品台:360°轴向旋转;

  •      最大晶圆尺寸:4 inch;

  •      电子束蒸发源:电源功率6 kW(最高电压-10 kV,最大电流600 mA),4个40 cc坩埚;

  •      膜厚仪:ULVAC CRTM-6000;

  •      沉积材料:Al、Ti等。


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