等离子体去胶机

2021/12/23 10:35:35

名称:等离子体去胶机

品牌:Samco

型号:PC-1100

产地:日本

参数:

  •      反应气体:SF6、O2、 Ar;

  •      射频电源:13.56 MHz,最大功率600 W,晶体振荡,自动匹配;

  •      下电极:方形,405 mm × 410 mm;

  •      最大晶圆尺寸:12 inch;

  •      刻蚀材料:各类光刻胶。


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