名称：聚焦离子束系统

品牌： Thermo Scientific

型号：Helios G4 CX

产地：捷克

参数：

电子束

•      分辨率：0.6 nm @ 15 kV，1 nm @ 1 kV，0.9 nm @ 1 kV（电子束减速模式）；

•      束交叉点分辨率：0.6 nm @ 15 kV，2.5 nm @ 1 kV；

•      电子束流： 0.8 pA - 100 nA；

•      加速电压：200 V - 30 kV；

•      着陆能量：20 eV - 30 keV；

•      最大水平视场宽度：4 mm工作距离下为2.3 mm。

离子束

•      交叉点分辨率：2.5 nm @ 30 kV（采用选边法），4 nm @ 30 kV（采用首选统计方法）；

•      离子束流：0.1 pA - 65 nA；

•      加速电压：500 V - 30 kV；

•      最大水平视场宽度：在束重合点处为0.9 mm。

样品台和样品

•      五轴电动样品台；

•      XY范围：110 mm；

•      Z范围：65 mm；

•      旋转：360^o（连续）；

•      倾斜范围：‐15^o - +90^o；

•      最大样品高度：与优中心点间隔85 mm；

•      最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110 mm（若样品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限）。

辅助气体注入系统

•      沉积材料：离子束/电子束诱导的Pt、Au、C沉积；

•      增强刻蚀：Al、SiO₂等。

图像处理器

•      驻留时间范围：25纳秒/像素 - 25毫秒/像素；

•      最高像素：6144 × 4096。