深硅刻蚀机

2021/12/23 10:38:28

名称:深硅刻蚀机

品牌:SPTS

型号:Omega LPX Rapier

产地:英国

参数:

  •      气体:SF6、C4F8、O2、N2、Ar;

  •      工艺模块:Bosch深硅工艺;

  •      最大射频功率:Primary RF为3600 W,Secondary RF为2000 W,Platen RF为1500 W;

  •      下电极:背氦传热,水冷控温范围在-20 ℃至40 ℃;

  •      最大晶圆尺寸:6英寸;

  •      刻蚀材料:Si。

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