感应耦合等离子体刻蚀机

2021/12/23 10:39:10

名称:感应耦合等离子体刻蚀机

品牌:Oxford Instruments

型号:Plasma Pro 100

产地:英国

参数:

  •      气体:Cl2、BCl3、HBr、SF6、CHF3、CH4、H2、Ar、N2

  •      最大射频功率:ICP为3000 W,HF为300 W;

  •      终点监测:激光终点监测,实时显示,激光波长670 nm;

  •      下电极:背氦传热,内置加热器,水冷控制,温度范围在-30 ℃至80 ℃;

  •      最大晶圆尺寸:8 inch;

  •      刻蚀材料:III-V族半导体、SiO2等。

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