反应离子刻蚀机

2021/12/23 10:39:49

名称:反应离子刻蚀机

品牌:Samco

型号:RIE-10NR

产地:日本

参数:

  •      气体:SF6、CF4、CHF3、O2、 Ar;

  •      射频电源:13.56 MHz,最大功率300 W,晶体振荡,自动匹配;

  •      下电极:直径240 mm,水冷控温(20 ℃到25 ℃);

  •      最大晶圆尺寸:8 inch;

  •      刻蚀材料:SiO2、SiN、α-Si等。

Baidu
sogou