扫描电子显微镜(配EBL附件)

2021/12/23 10:40:24

名称:扫描电子显微镜(配EBL附件)

品牌:Zeiss

型号:Sigma 300

产地:英国

参数:

  •      分辨率:1.0 nm @ 15 kV,1.6 nm @ 1 kV;

  •      加速电压:0.02-30 kV;

  •      放大倍率:10-1000000×;

  •      电子束流:4 pA-20 nA;

  •      探测器:In-lens、ETSE、HD BSD;

  •      工作距离:0.1-50 mm;

  •      样品台类型:5轴电动;

  •      样品台X轴行程:125 mm;

  •      样品台Y轴行程:125 mm;

  •      样品台Z轴行程:50 mm;

  •      样品台T轴倾斜度:-10° - +90°;

  •      样品台R轴旋转角度:360°连续。


Raith ELPHY Quantum EBL附件

  •      扫描频率:6 MHz;

  •      电子束驻留时间:167 ns~429 s;

  •      电子束驻留时间最小增量:83 ns;

  •      写场范围:0.5 μm × 0.5 μm – 2 mm × 2 mm;

  •      最小步距增量:0.1 nm;

  •      曝光精度:≤100 nm;

  •      套刻精度:≤100 nm。

Baidu
sogou