接触式曝光机

2021/12/23 10:40:54

名称:接触式曝光机

品牌:SUSS

型号:MA/BA6 Gen4

产地:德国

参数:

  •      晶圆尺寸:2-6 inch;

  •      光源波长:350-450 nm;

  •      曝光模式:软接触、硬接触、真空接触和接近式;

  •      曝光精度:0.8 μm;

  •      正面套刻对准精度:±0.25 μm;

  •      背面套刻对准精度:±1.0 μm。


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