激光直写光刻机

2021/12/23 10:41:38

名称:激光直写光刻机

品牌:HEIDELBERG

型号:DWL66+

产地:德国

参数:

  •      最大加工晶圆尺寸:直径230 mm;

  •      最大加工区域:200 mm直径的圆型区域;

  •      激光波长:405 nm;

  •      激光能量:300 mW;

  •      曝光精度:0.6 μm;

  •      曝光速度:13 mm2/min;

  •      套刻精度:100 nm;

  •      灰度曝光阶数: 128级。


Baidu
sogou